不同气压下微间距气体放电特性分析

• 作者: 李彦森 孙岩洲 王林华 贾斌 陈芸
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: Paschen曲线 微间距 场致发射 击穿机制 不同气压
• 年，卷（期）: 2022,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 75-81
• 页数: 7页
• 分类号: TM852
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202106013

摘要

为了研究不同气压下微间距气体放电的过程,在1-100 kPa的可变气压环境下,在1-100 μm的电极间距范围内进行气体放电实验并对实验结果进行分析.在电极间距小于100μm,pd小于80 Pa· cm左右时,随着电极间距的减小,击穿曲线与传统Paschen曲线偏差增大,此时相同pd值对应多个击穿电压.分析各电极间距在不同气压下的击穿场强,发现在5 μm以下电极间隙,击穿场强接近108V/m量级,此时的间隙击穿主要由场致发射导致的.估算电极间距在不同气压下,场致有效二次发射系数与Townsend二次发射系数的比值,发现了不同间距范围内存在着不同的击穿机制以及离子增强场效应在数个微米量级的电极间隙的场发射中起着重要作用.