亚控科技管控一体化方案在电子半导体生产制造领域的应用

• 作者: 北京亚控科技发展有限公司
• 来源期刊: 自动化博览
• 年，卷（期）: 2022,（4）
• 所属期刊栏目: 电子制造
• 页码范围: 38-39
• 页数: 2页
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-0492.2022.04.021

摘要

1 背景 随着美国对中国芯片行业的商业制裁,中国政府大力推动本土半导体制造行业的发展,中国的半导体制造行业存在着不断增长的利润空间.为了提高国内半导体制造产线数据收集、分析、管理和智能排产等能力,半导体制造规范化并与国际标准接轨成为必需.SEMI(国际半导体产业协会)为半导体制造设备提供了完整的SECS/GEM协议标准.该协议因具有降低设备集成成本,适用于所有制造设备,可以支持无数的应用程序,而获得业界的大力支持.很多国际半导体巨头,如三星、英特尔、东芝等九十年代就开始使用SECS/GEM为基础的全自动化产品.中国企业的SECS/GEM产品需求也在国产化的大环境下在逐年上升.