面向CMUT声发射特性的驱动电路优化设计

• 作者: 李一凡 张国军 何常德 王子渊 高鹏飞 孟亚楠
• 来源期刊: 应用声学
• 学科: 工学
• 关键词: 电容式微机械超声传感器 驱动电路 串行匹配 声发射特性
• 年，卷（期）: 2022,（1）
• 所属期刊栏目: 研究报告|Research Articles
• 页码范围: 168-172
• 页数: 5页
• 分类号: TN791|TB552
• 语种: 中文
• DOI: 10.11684/j.issn.1000-310X.2022.01.020

摘要

根据电容式微机械超声换能器(CMUT)的工作原理,设计了用于驱动CMUT发射超声波的电路.通过适当的串行匹配,消除了脉冲激励信号的过冲现象.在此基础上进一步探究了脉冲激励参数对CMUT声发射特性影响.结果表明,随着激励脉冲个数的增加,CMUT输出超声信号的有效带宽逐渐变窄,二次谐波逐渐增强;随着激励脉冲占空比的增加,CMUT的输出声压先增大后减小,二次谐波先减小后增大.该文研究结果为CMUT的测试与应用奠定了基础.