插入NiCr合金层对SnO2/Ag/SnO2多层结构透明导电薄膜热稳定性的影响

• 作者: 郑思龙 祝柏林 易昌鸿 王崇杰 吴隽
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 物理学
• 关键词: 氧化物/金属/氧化物多层膜 透明导电性 退火处理 热稳定性 品质因子
• 年，卷（期）: 2022,（2）
• 所属期刊栏目: 工艺·技术|Process & Technology
• 页码范围: 2167-2173
• 页数: 7页
• 分类号: O472
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2022.02.025

摘要

室温下通过磁控溅射技术制备了SnO2/Ag/SnO2(SAS)、SnO2/Ag/NiCr/SnO2(SANS)和SnO2/NiCr/Ag/NiCr/SnO2(SNANS)三类多层膜.采用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、霍尔效应测量仪和紫外-可见分光光度计研究了大气和真空退火温度与薄膜结构、形貌和透明导电性能的关系.结果表明,随着退火温度升高,薄膜的结晶程度及透明导电性能先增强后下降,薄膜的粗糙度先下降后上升.插入NiCr合金层提高了薄膜的热稳定性,且在Ag层两侧插入厚的NiCr合金层时薄膜热稳定性最优.而薄膜在真空环境下比在大气环境下的热稳定性更优.450℃真空退火后,SNANS(1 nm NiCr)薄膜平均透光率(400～800 nm)为90.31％,电阻率为8.21×10-5Ω·cm,品质因子为3.87×10-2Ω-1.