工件孔洞的相位展开误差补偿方法研究

• 作者: 孙煜雅 金永 范晨 杜连续 刘静静
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: 相位展开 枝切法 误差补偿 点扩散函数 不连续边界
• 年，卷（期）: 2022,（2）
• 所属期刊栏目: 测试与仪器
• 页码范围: 91-95
• 页数: 5页
• 分类号: TN209|TG806
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7008.2022.02.021

摘要

相位展开技术对提高最终测量结果的精度有重要影响,但由于工件表面不连续边界处残差点的密集分布,导致相位展开时产生较大误差.针对此类解缠错误问题,本文提出基于枝切法与误差补偿算法结合的相位展开方法,将质量图分为高质量区与低质量区,枝切法展开高质量区相位,DMA误差补偿算法展开低质量区相位.实验结果表明,此方法既可保持枝切法简便、高效的优点,又可解决不连续边界处的解缠错误问题,满足实时性测量要求,测量精度高达0.05mm.