基于原位共角椭偏与反射谱的TiO2薄膜光学常数分析

• 作者: 孙晓娟 韩培高 隽方蓥 郝殿中
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 光谱学 光学常数 椭圆偏振光谱 二氧化钛薄膜
• 年，卷（期）: 2022,（2）
• 所属期刊栏目: 激光物理、材料与器件
• 页码范围: 288-292
• 页数: 5页
• 分类号: O484.5
• 语种: 中文
• DOI: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2022.02.022

摘要

为了分析溶胶-凝胶法制备的TiO2薄膜的光学常数,采用旋涂法制备了多层TiO2薄膜,利用扫描电镜对表面形貌进行了分析,利用椭圆偏振光谱对薄膜的折射率色散和孔隙率进行了拟合分析,并利用原位共角反射光谱对拟合结果进行了验证,得到了TiO2薄膜厚度、孔隙率和折射率色散曲线.结果表明,TiO2薄膜厚度与旋涂层数成线性关系,薄膜孔隙率约为15％且与旋涂层数无关,New Amorphous色散模型可以较好地拟合溶胶-凝胶旋涂方法制备的TiO2薄膜在1.55eV～4.00eV波段的椭偏光谱.该研究为溶胶-凝胶法制备的TiO2薄膜的光学常数测量提供了参考.