半导体洁净室的空气净化技术综述

• 作者: 陈玲
• 来源期刊: 集成电路应用
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体洁净室 风机过滤单元 高效/超高效过滤器 化学过滤器 滤料
• 年，卷（期）: 2022,（1）
• 所属期刊栏目: 工艺与制造|Process and Fabrication
• 页码范围: 49-53
• 页数: 5页
• 分类号: TN30|TN405
• 语种: 中文
• DOI: 10.19339/j.issn.1674-2583.2022.01.016

摘要

阐述ITRS和IRDS的要求,洁净室空气净化系统对粒子浓度、气态污染物的管控均有严格要求.洁净室的主流净化技术包括风机过滤单元、高效/超高效过滤器、化学过滤器.直流FFU因其节能特性成为主流产品,高效/超高效过滤器的材质由传统的超细玻璃纤维发展到PTFE、纳米纤维.化学过滤器因其所去除的气态污染物的多样化,材料也更为多元化,包括活性炭、离子交换树脂、离子交换纤维及其他多种材料.