压电微镜薄板的大挠度弯曲偏转角解析

• 作者: 杜永飞 孟江 范伟 刘凯 蒋童 安坤
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 矩形薄板 压电微镜 偏转角 参数辨识
• 年，卷（期）: 2022,（1）
• 页码范围: 42-47,52
• 页数: 7页
• 分类号: TN384
• 语种: 中文
• DOI: 10.11977/j.issn.1004-2474.2022.01.009

摘要

通过弹性力学对自由边界条件下的矩形薄板结构进行理论分析,建立了薄板结构的几何、物理及平衡方程.通过分析薄板纯弯曲情况,求得其挠度曲线函数表达式.运用COMSOL软件对基于压电陶瓷(PZT)材料的方形薄板在该条件下进行仿真分析,并通过参数辨识对仿真与理论进行曲线拟合,验证了理论与仿真的一致性.通过实验测试验证了仿真数据的真实性,并在此基础上解出方形薄板的偏转角度,实现了薄板在激光通信领域中对光束的偏转,进而达到精确控制光束偏转角度的功能.