基于连环容许时间区段设备异常的实时调度分析

• 作者: 崔小琳
• 来源期刊: 集成电路应用
• 学科: 工学
• 关键词: 集成电路制造 许容时间 实时调度
• 年，卷（期）: 2022,（1）
• 所属期刊栏目: 工艺与制造|Process and Fabrication
• 页码范围: 56-57
• 页数: 2页
• 分类号: TN405|TP183
• 语种: 中文
• DOI: 10.19339/j.issn.1674-2583.2022.01.018

摘要

阐述半导体生产中,连环许容时间区段某工序设备异常时,实现产品实时调度的管理方法.通过设置产品在各许容时工艺段的品质风险等级,在实时调度中实现对不同区段在制品的风险评估和决策.