PVD自动控制系统的设计

• 作者: 陈立波 羊宽 黄心沿
• 来源期刊: 集成电路应用
• 学科: 工学
• 关键词: 自动控制 溅射 PVD HJT 上位机 下位机
• 年，卷（期）: 2022,（1）
• 所属期刊栏目: 工艺与制造|Process and Fabrication
• 页码范围: 60-62
• 页数: 3页
• 分类号: TN305|TB43|TP273
• 语种: 中文
• DOI: 10.19339/j.issn.1674-2583.2022.01.020

摘要

阐述物理气相淀积PVD是异质结HJT太阳能电池片生产工艺中的关键设备,它由6个模块组成,包括真空模块、溅射模块、加热模块、传动模块、冷却模块和自动控制模块.为了实现控制设备,开发了一套PVD自动控制系统,由上位机和下位机组成.开发过程采用原型化方法,不断探索,设计出了最终的系统.探讨在建立系统后,进行演化升级的设计与研究过程.