三坐标测量机气浮导轨滑块结构设计与仿真

• 作者: 戚玉海 程荣俊 叶运生 黄强先 张连生
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: 气浮导轨 小孔节流 结构设计 仿真分析
• 年，卷（期）: 2022,（1）
• 所属期刊栏目: 测试与仪器
• 页码范围: 100-103
• 页数: 4页
• 分类号: TG803|TH721|TH122
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7008.2022.01.022

摘要

静压气浮导轨采用气体润滑,具有无摩擦、热变形小、寿命长等优点,且气膜的误差均化作用显著提高了其运动精度,满足三坐标测量机高精度、高平稳运动需求.为探究三坐标测量机中静压气浮导轨滑块的承载性能,建立了矩形气浮滑块结构模型,滑块内置小孔节流型气浮垫,运用COMSOL有限元仿真软件对其气浮静态承载特性进行仿真分析,验证了结构设计的合理性.