闭合磁场的作用原理与布局逻辑

• 作者: 崔岁寒 郭宇翔 陈秋皓 金正 杨超 吴忠灿 苏雄宇 马正永 田修波 吴忠振
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 闭合磁场 电子运动 真空结构布局 沉积效率
• 年，卷（期）: 2022,（5）
• 所属期刊栏目: 气体、等离子体和放电物理|PHYSICS OF GASES, PLASMAS, AND ELECTRIC DISCHARGES
• 页码范围: 233-244
• 页数: 12页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.71.20211781

摘要

采用非平衡磁控溅射阴极在镀膜区间构建闭合磁场已经成为设计开发磁控溅射真空镀膜系统的通用手段,然而闭合磁场具体的作用对象、作用机制、闭合条件、布局逻辑以及作用效果等仍没有定量的判定标准或设计依据.本文从带电粒子在磁场中的运动出发,推导了真空室内电子与离子运动行为,得出闭合磁场的作用机制,并依此研究了磁控溅射阴极和离子源布局方式对电子约束效果和沉积效率的影响.结果 表明,闭合磁场在真空室中主要通过约束电子来约束等离子体,进而减少系统内电子损失;阴极数量和真空室尺寸对闭合磁场的作用效果有重要影响.提出在真空室中央增加对偶离子源,研究了闭合磁场中阴极类型、旋转角度和磁场方向对电子的约束作用,发现当离子源正对阴极相斥或相吸时,真空室内分别形成了局部高密度和均匀连续的两种等离子体分布特征,边缘电子溢出比均低于3％,镀膜区的电子占比相对无对偶离子源时分别提高到53.41％和42.25％.