光学望远镜镜片旋转镀膜修正挡板的仿真设计

• 作者: 孙伟超 许竞 林星魁 艾力·伊沙木丁
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 真空镀膜 蒸发源 光学薄膜 膜厚均匀性 修正挡板 数值分析
• 年，卷（期）: 2022,（4）
• 所属期刊栏目: 表面功能化|Surface Functionalization
• 页码范围: 342-347
• 页数: 6页
• 分类号: O484.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2022.04.036

摘要

目的 提高新疆天文台南山观测基地ZZS1800-1/G真空镀膜机的膜厚均匀性指标.方法 通过建立旋转行星夹具系统的膜厚分布模型,利用高精度数值计算,基于ZZS1800-1/G真空镀膜机,研究镀膜机结构参数与镜面几何结构对膜厚均匀性的影响,分析蒸发源位置、望远镜镜片参数与修正挡板形状的关系,并进行修正挡板的仿真设计与验证.结果 在旋转行星夹具系统中,蒸发源与原点的距离对半径较大的镜面膜厚均匀性的影响最为明显.该距离600 mm以内,在镜面半径小于100 mm时,膜厚均匀性均低于1.7％;镜面半径为600 mm时,膜厚均匀性最佳,为23％.加入修正挡板后,膜厚均匀性理论计算值为0.035％.在镀半径为600 mm的镜片时,为保证均匀性小于1％,修正挡板的加工形变量要控制在2.2％以内.结论 加入修正挡板可有效提高ZZS1800-1/G真空镀膜机的膜厚均匀性,本文建立的仿真模型可为ZZS1800-1/G真空镀膜机在实际镀膜工作时修正挡板的设计提供理论参考依据.