超表面结构MEMS红外超窄带光源研究

• 作者: 邹宇 蒋文静 欧文
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 红外物理 MEMS红外窄带光源 集总等效电路模型 超表面 选择性 高发射率
• 年，卷（期）: 2022,（1）
• 所属期刊栏目: “光场调控及应用”专辑|Special Issue for Light Field Manipulation and Applications
• 页码范围: 312-320
• 页数: 9页
• 分类号: O431
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/gzxb20225101.0151122

摘要

针对常用的MEMS红外光源是类灰体光源,存在发射光谱范围比较广的问题,提出一种基于表面等离子体的超表面结构,将其覆盖在MEMS光源上实现一种有选择性、高发射率的窄带光源.还提出了一种改进的集总等效电路模型,通过模型能够比较准确地计算出超表面中结构尺寸对光源中心频率、带宽以及发射率的影响,探究了该结构中各个尺寸的改变对光源性能的影响.本文提出的模型计算结果跟仿真结果吻合,使用该模型能够避免耗时的、复杂的数值优化过程.