单压电执行器阵列驱动的变形镜的制备与表征

• 作者: 钟贵明 韩小帅 张昕 娄军强 马剑强
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 变形镜 单压电执行器 自适应光学 波前像差 像差校正
• 年，卷（期）: 2022,（1）
• 所属期刊栏目: “光场调控及应用”专辑|Special Issue for Light Field Manipulation and Applications
• 页码范围: 340-347
• 页数: 8页
• 分类号: TN384|O438
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/gzxb20225101.0151125

摘要

为降低压电执行器阵列式变形镜的成本,提出了一种由单压电执行器阵列驱动的低成本变形镜.制备了 19单元50 mm 口径的变形镜样机,建立了基于Shack-Hartmann传感器的 自适应光学测试系统,并对单个执行器性能、校正性能、镜面校平性能、变形镜频率响应特性进行了表征.测试结果显示,制备的变形镜单个执行器在50 V电压下波前变形量可达10 μm,可精确重构前14项Zernike多项式像差,校平后远场光斑接近艾里斑,变形镜一阶固有频率约为1.8 kHz.提出的单压电执行器阵列驱动的变形镜具有比较好的性能,在低成本自适应光学系统中具有应用前景.