基于激光干涉仪的定位误差补偿实验研究

• 作者: 段密克 徐迎春
• 来源期刊: 计量与测试技术
• 学科: 工学
• 关键词: 定位精度 激光干涉仪 激光开槽机 误差补偿
• 年，卷（期）: 2022,（4）
• 所属期刊栏目: 计量仪器科研与实践|Reasearch and Practice of Measuring Instruments
• 页码范围: 36-40
• 页数: 5页
• 分类号: TB9
• 语种: 中文
• DOI: 10.15988/j.cnki.1004-6941.2022.4.012

摘要

定位精度是激光开槽机的一项重要技术指标.使用SJ6000激光干涉仪对KW-355型号的激光开槽机进行X、Y、Z轴的定位精度和重复定位精度进行测试实验,依据测试数据对激光开槽机的运行程序进行误差补偿,补偿误差后再使用激光干涉仪测试.经过多次误差补偿测试后,使开槽机的定位精度满足技术要求.