硅阵列探针上基于IrOx的pH传感器和电生理信号传感器

• 作者: 王琛 刘景全
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: pH传感器 微机电系统 多功能 密歇根探针
• 年，卷（期）: 2022,（4）
• 所属期刊栏目: 设计与制造|Design & Manufacture
• 页码范围: 70-72,85
• 页数: 4页
• 分类号: TP212|TN42
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2022)04-0070-03

摘要

脑部区域的pH值是哺乳动物中枢神经系统(CNS)的重要环境参数,并与多种神经系统疾病相关.采用微机电系统(MEMS)工艺和电化学方法制造了由电化学电极点和电生理电极点组成的多功能密歇根探针.在多功能密歇根探针中,电生理电极点在1 kHz时具有10 kΩ的低阻抗,而电化学电极点则对pH值具有47 mV/pH的灵敏度.此多功能密歇根探针能够帮助揭示神经生理学和病理学的机制.