MEMS高精度双轴倾角传感器的设计

• 作者: 朱颖 周妤
• 来源期刊: 电子制作
• 关键词: MEMS双轴倾角传感器 硬件电路 精度
• 年，卷（期）: 2022,（1）
• 所属期刊栏目: 电子电路设计与方案
• 页码范围: 3-4,30
• 页数: 3页
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-5059.2022.01.001

摘要

本文主要介绍了一种角度检测用MEMS双轴倾角传感器.采用MEMS加速度传感器测量倾角的原理进行应用开发,通过三维转台角度测试,其具有体积小、性能稳定、精度高等特点.