高温金属基上Al2O3/CeO2/Al2O3复合绝缘层的制备及绝缘性能研究

• 作者: 彭小龙 蒋书文 张万里
• 来源期刊: 信息记录材料
• 学科: 工学
• 关键词: CeO2 Al2O3 复合绝缘层 高温应变 直流反应溅射
• 年，卷（期）: 2022,（3）
• 所属期刊栏目: 材料:实验与研究
• 页码范围: 69-71
• 页数: 3页
• 分类号: TQ17
• 语种: 中文

摘要

为进一步提高镍基高温合金表面绝缘层的高温热绝缘性能,改善航空发动机在工作过程中应变传感器的性能稳定性,在N i基基带表面通过直流反应溅射的方式先后制备A l2O3、C e O2、A l2O33层绝缘层,得到A l2O3/C e O2/A l2O3复合绝缘层,并通过XRD、SEM表征方法对制备的样品进行微观结构分析,最后对绝缘层进行高温绝缘性能测试.结果表明,最终制备的复合绝缘层表面十分致密,未见脱落现象,具有良好的高温绝缘性,400?℃绝缘电阻100.1?KΩ、600?℃绝缘电阻19?KΩ、800?℃绝缘电阻10?KΩ.相对单层Al2O3绝缘层的绝缘电阻提升了两个数量级,满足了薄膜应变计在高温条件下的电绝缘要求,提高了应变测量可靠性.