表面污染监测仪测量小面积源窗口响应的方法研究

• 作者: 魏强 曲璐
• 来源期刊: 科技风
• 关键词: 表面污染监测仪 窗口响应 小面积源
• 年，卷（期）: 2022,（4）
• 所属期刊栏目: 电子信息
• 页码范围: 66-68
• 页数: 3页
• 语种: 中文
• DOI: 10.19392/j.cnki.1671-7341.202204022

摘要

本研究使用自行设计的定位支架和网格定位纸,选用Como170型表面污染监测仪对小面积平面源进行测量,研究窗口各部位的响应.通过对表面污染监测仪窗口进行网格划分,分别测量出每个位置的响应,分析研究响应与位置的关系,在实际工作中对准确测量小面积源和小块污染具有实践参考价值.