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一种新型氨气纯化器的设计
一种新型氨气纯化器的设计
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摘要：
阐述9N超纯氨气的纯化器设计,应用于光电子领域及MOCVD设备,包括纯化器工艺设计、纯化器外观设计、纯化器仪控设计,采用两塔吸附方式,可实现现场及远端控制.
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研究主题发展历程
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超纯氨
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研究来源
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研究去脉
引文网络交叉学科
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期刊影响力
集成电路应用
主办单位：
上海贝岭股份有限公司
出版周期：
月刊
ISSN：
1674-2583
CN：
31-1325/TN
开本：
16开
出版地：
上海宜山路810号
邮发代号：
创刊时间：
1984
语种：
chi
出版文献量（篇）
4823
总下载数（次）
15
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