有机玻璃基底AZO/Ag/AZO复合薄膜的制备与性能

• 作者: 徐清源 张运生 陈琛 冯海兵 黄鹏 祖成奎
• 来源期刊: 航空材料学报
• 关键词: PMMA AZO/Ag/AZO 层合 耐湿热性 电加温
• 年，卷（期）: 2023,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 87-97
• 页数: 10页
• 分类号: TG146.3,TQ132.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.11868/j.issn.1005-5053.2022.000054

摘要

采用低温磁控溅射技术在有机玻璃（聚甲基丙烯酸甲酯PMMA）表面制备铝掺杂氧化锌（AZO）叠层AZO/Ag/AZO透明导电薄膜，研究AZO溅射功率对AZO/Ag/AZO薄膜结构和性能的影响，探讨PMMA层合结构的耐湿热性和加温性能。通过扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）、X射线衍射仪（XRD）表征薄膜的形貌和结构。结果表明：AZO的溅射功率影响了AZO层表面能以及薄膜的结晶度，在100 W和150 W溅射功率下制备出的AZO/Ag/AZO薄膜室温下具有3.7 Ω/sq的低薄膜电阻和86.1%的高透光率，采用PMMA和聚氨酯胶片对薄膜进行层合封装，湿热30天后仍保持光学、电学性能稳定。PMMA层合结构在加温过程中的时间-温度曲线表明在5 V直流电压下层合玻璃具有较快的温度响应时间和良好的温度均匀性。−10~−40 ℃空气对流中PMMA层合结构表现出良好的温度稳定性。