集成电路厂房洁净室暖通设计研究

• 作者: 崔增燕
• 来源期刊: 科海故事博览
• 关键词: 集成电路 厂房洁净室 暖通设计
• 年，卷（期）: 2023,（06（上））
• 所属期刊栏目: 科教文化
• 页码范围: 91-93
• 页数: 2页
• 分类号: TU83,TN4
• 语种: 中文

摘要

集成电路行业高速发展，洁净室暖通设计须达到相应标准要求，符合行业要求才能够适应现代化生产所需，才能够为集成电路生产环节提供保障基础。在集成电路行业不断优化的过程中，暖通设计关系到厂房中整体集成电路生产的质量，因此需要强化厂房洁净室的暖通设备，进一步推进集成电路行业发展。