基于重离子微束的单离子辐照系统研究

• 作者: 孙浩瀚 郭刚 刘建成 张峥 张付强 赵勇乐 杨智 中国原子能科学研究院
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: 重离子微束 单离子辐照 二次电子监督 多单元翻转
• 年，卷（期）: 2024,（10）
• 所属期刊栏目: 技术及应用
• 页码范围: 184-190
• 页数: 7页
• 语种: 中文

摘要

基于北京HI-13串列加速器针孔型重离子微束装置建立了单离子辐照(SIH)系统。采用二次电子监督装置对离子注量率实时测量，将每次辐照器件的离子数严格控制为1个。通过对影响单离子辐照性能的潜在因素进行分析，给出了各因素影响单离子辐照准确性的理论参考公式。对比例系数K、束流强度和快门时间这3个主要因素进行实验检验，结果表明，在K保持稳定和较低的束流强度下，单离子系统的准确率达90%。利用该系统对28 nm SRAM芯片进行单离子辐照，获得了单离子辐照诱发多单元翻转(MCUs)的分布情况，降低了多离子入射的干扰。