氮化锌的制备及应用研究进展

• 作者: 康珍 李胜楠 徐成瑜 熊莉佳 窦泽伟 李晓月 范天博 张福群 郭洪范 沈阳化工大学
• 来源期刊: 辽宁化工
• 关键词: 氮化锌 制备方法 应用 晶体管 传感器
• 年，卷（期）: 2024,（11）
• 所属期刊栏目: 开发与应用
• 页码范围: 100-104
• 页数: 5页
• 语种: 中文
• DOI: 10.14029/j.cnki.issn1004-0935.2023.11.011

摘要

氮化锌属于过渡金属氮化物，具有反方铁锰矿结构，呈n型导电性。氮化锌材料分为薄膜和颗粒状。薄膜制备方法包括磁控溅射法、气相沉积技术、分子束外延技术等；颗粒可通过在含氮气体或氮化合物溶液中氮化锌前驱体制备，分别获得粉体或胶体。氮化锌具有高电子迁移率和高载流子浓度的优良性质，这使它在光学和电子器件等领域有着广泛的应用前景。综述了氮化锌材料的制备方法及应用研究进展，希望对氮化锌材料的发展提供一些思路。