光学镀膜洁净生产线设计

• 作者: 姚春龙 佟亚涛 李壮 刘添昊 白皓宇 沈阳仪表科学研究院有限公司
• 来源期刊: 科技创新与生产力
• 关键词: 洁净等级 HVAC系统 光学薄膜器件 表面缺陷
• 年，卷（期）: 2024,（8）
• 所属期刊栏目: 技术创新
• 页码范围: 105-107
• 页数: 3页
• 语种: 中文

摘要

本文基于某大型光学薄膜器件生产企业作业环境设计实践，探索出生产工艺流程，确定光学镀膜核心工序及生产线整体功能分区，结合各工序工艺要求及洁净等级对器件表面缺陷的影响程度，设计光学薄膜生产线各区域洁净度等级、温湿度、风量等需求及适宜选用的HVAC系统，实现减少光学薄膜器件表面缺陷目标的作业环境设计。