电子级氢氟酸研究进展

• 作者: 朱博超 章志成 浙江森田新材料有限公司
• 来源期刊: 辽宁化工
• 关键词: 氢氟酸 分类 电子级
• 年，卷（期）: 2024,（8）
• 所属期刊栏目: 开发与应用
• 页码范围: 133-135
• 页数: 3页
• 语种: 中文
• DOI: 10.14029/j.cnki.issn1004-0935.2023.08.023

摘要

随着电子信息时代的到来，电子芯片逐渐成为国家未来大力发展的主要产业。电子级氢氟酸作为芯片制作过程必需的化学品，也成为此产业上未来主要发展的方向。介绍了氢氟酸一般生产流程、等级分类以及电子级生产工艺、技术难点等。