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LSI制造与测试期刊
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LSI制造与测试1990年第6期出版文献
出版文献量(篇)
366
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LSI制造与测试
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投稿
主办单位:
上海光学仪器研究所
ISSN:
CN:
31-1459/TN
出版周期:
双月刊
邮编:
200062
地址:
上海江西中路450号
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1989年
目录
1.
LSI研究开发线中微污染控制的实践
作者:
林耀泽 王铁坤
刊名:
LSI制造与测试
发表期刊:
1990年6期
页码: 
8-13
摘要:
2.
半导体工业生产中的洁净晶片搬运新技术
作者:
王可芬 蔡君质
刊名:
LSI制造与测试
发表期刊:
1990年6期
页码: 
14-19
摘要:
3.
用电致伸缩微位移装置的显微镜自动调焦系统
作者:
王伯雄 薛实福
刊名:
LSI制造与测试
发表期刊:
1990年6期
页码: 
20-24
摘要:
4.
VLSI测试设备及其发展趋势
作者:
邓些鹏
刊名:
LSI制造与测试
发表期刊:
1990年6期
页码: 
25-31
摘要:
5.
离子注入机束流轨迹的调整
作者:
刘军 邬春桂
刊名:
LSI制造与测试
发表期刊:
1990年6期
页码: 
32-35
摘要:
6.
准分子激光微细加工技术现状与展望
作者:
张玉书
刊名:
LSI制造与测试
发表期刊:
1990年6期
页码: 
36-40
摘要:
LSI制造与测试基本信息
刊名
LSI制造与测试
主编
曾用名
主办单位
上海光学仪器研究所
主管单位
出版周期
双月刊
语种
ISSN
CN
31-1459/TN
邮编
200062
电子邮箱
电话
021-650226
网址
地址
上海江西中路450号
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