等离子体应用技术快报1998年第3期出版文献-钛学术文献服务平台

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等离子体应用技术快报

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核工业西南物理研究院

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610041

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四川省成都市432信箱

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1. 用于冶金和半导体研究与开发的等离子体浸没离子植入

作者：王惠三

刊名：等离子体应用技术快报

发表期刊： 1998年3期

页码: 1-5

摘要：
2. 用离子植入对特殊钢进行改性

作者：张正模

刊名：等离子体应用技术快报

发表期刊： 1998年3期

页码: 5-6

摘要：
3. 用PⅢ改善Cr4Mo4V轴承钢的腐蚀特性

作者：卫冰

刊名：等离子体应用技术快报

发表期刊： 1998年3期

页码: 6-8

摘要：
4. 用强脉冲离子束对AISI—4620钢进行表面改性

作者：康卫红

刊名：等离子体应用技术快报

发表期刊： 1998年3期

页码: 8-9

摘要：
5. 编程等离子体辅助化学蚀刻装置

作者：周才品

刊名：等离子体应用技术快报

发表期刊： 1998年3期

页码: 9-11

摘要：
6. 处理塑料组件的等离子体装置

作者：一弓

刊名：等离子体应用技术快报

发表期刊： 1998年3期

页码: 11-12

摘要：
7. 表面波等离子体在干蚀刻技术中的应用

作者：文心

刊名：等离子体应用技术快报

发表期刊： 1998年3期

页码: 12-14

摘要：
8. 碳氟化合物高密度等离子体的蚀刻性能

作者：豫民

刊名：等离子体应用技术快报

发表期刊： 1998年3期

页码: 16-17

摘要：
9. 双透镜聚焦离子束柱的设计优化

作者：王惠三

刊名：等离子体应用技术快报

发表期刊： 1998年3期

页码: 17-18

摘要：
10. 对氮化硅滚珠轴承的离子植入

作者：张正模

刊名：等离子体应用技术快报

发表期刊： 1998年3期

页码: 19-20

摘要：
11. 双孔二级脉冲管致冷器的实验研究

作者：卫冰

刊名：等离子体应用技术快报

发表期刊： 1998年3期

页码: 20-21

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等离子体应用技术快报基本信息

刊名	等离子体应用技术快报	主编
曾用名
主办单位	核工业西南物理研究院	主管单位
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