等离子体应用技术快报1999年第9期出版文献-钛学术文献服务平台

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等离子体应用技术快报

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核工业西南物理研究院

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610041

地址：

四川省成都市432信箱

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1. 用于SiO蚀刻工艺的磁中性环形放电等离子体

作者：卫冰

刊名：等离子体应用技术快报

发表期刊： 1999年9期

页码: 1-3

摘要：
2. 利用脉冲等离子体束改进材料表面性能

作者：王惠三

刊名：等离子体应用技术快报

发表期刊： 1999年9期

页码: 3-6

摘要：
3. 利用PⅢ改善油泵材料的耐磨和耐蚀性

作者：李兵

刊名：等离子体应用技术快报

发表期刊： 1999年9期

页码: 6-7

摘要：
4. 等离子体鞘离子氮化：SS304表面改性的高效费比工艺

作者：李兵

刊名：等离子体应用技术快报

发表期刊： 1999年9期

页码: 7-8

摘要：
5. 应用于TiN薄膜沉积的环形等离子体源

作者：李乐

刊名：等离子体应用技术快报

发表期刊： 1999年9期

页码: 8-11

摘要：
6. 用微波功率维持的平板等离子体源

作者：民众

刊名：等离子体应用技术快报

发表期刊： 1999年9期

页码: 11-13

摘要：
7. 团粒离子注入和器件加工

作者：欣然

刊名：等离子体应用技术快报

发表期刊： 1999年9期

页码: 13-17

摘要：
8. RF氧或氢等离子体除去碳氢化合物的研究

作者：蓉佳

刊名：等离子体应用技术快报

发表期刊： 1999年9期

页码: 19-20

摘要：
9. 氮化钢34CrAlNi7的PPN,PⅢ表面处理对比

作者：豫民

刊名：等离子体应用技术快报

发表期刊： 1999年9期

页码: 20-22

摘要：
10. 等离子体溅射沉积中增大的沉积率

作者：豫民

刊名：等离子体应用技术快报

发表期刊： 1999年9期

页码: 22-24

摘要：
11. 1GHz级NMR磁体用超导导体研制

作者：方正

刊名：等离子体应用技术快报

发表期刊： 1999年9期

页码: 24-27

摘要：

等离子体应用技术快报基本信息

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曾用名
主办单位	核工业西南物理研究院	主管单位
出版周期	月刊	语种
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