微纳电子技术期刊
出版文献量(篇)
3266
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微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名: 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来,汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体,通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向,为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉:
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN:
1671-4776
CN:
13-1314/TN
出版周期:
月刊
邮编:
050002
地址:
石家庄市179信箱46分箱
出版文献量(篇)
3266
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  • 作者: 汪学方 潘平 蒋圣伟 雷宇晴 龚雄辉
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年9期
    页码:  550-559
    摘要: 对石墨烯谐振器的研究进展进行了综述,包括谐振器的实验、理论建模研究、应用及其发展前景,并指出了获得高性能谐振器所要考虑的几个影响因素.从中可以看出石墨烯的尺寸、门电压的大小、温度的高低和初始...
  • 作者: 刘洪超 祁小四 邓朝勇
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年9期
    页码:  560-564
    摘要: 利用简单的热蒸发CdS粉末方法,可合成出高质量的CdS微米柱.通过调控Si衬底上Au膜的厚度,能够大面积合成出尺寸均一的CdS纳米带和纳米棒.系统地研究了所合成样品的相、微结构和光致发光特性...
  • 作者: 刘国华 周游 周祚万 张峰
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年9期
    页码:  565-570,575
    摘要: 基于六角氧化锌纳米空心柱结构模型,求解了光波在三层圆柱结构模型中传输下的Helmholtz方程和Maxwell方程,得出了该结构的电场和磁场本征值.模拟结果得到了该结构模型下良好的发光特性....
  • 作者: 李学慧 李晓琦 李玉彬 楚明华 陈芳
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年9期
    页码:  571-575
    摘要: 将油基磁性液体逐渐加入到甘油溶液中,在永磁铁作用下得到直径分别为2.0,2.5,3.0,3.5和4.0 mm的磁性液滴.移除永磁铁后,观察分析不施加磁场或磁场换向频率为0~100 Hz内磁性...
  • 作者: 刘梦然 张国军 张文栋 简泽明
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年9期
    页码:  576-582
    摘要: 压阻式的MEMS仿生矢量水听器的固有频率和灵敏度之间是相互制约的,即随微结构的各个尺寸(悬臂梁的长、宽、高及中心连接体的边长)的变化,二者呈现相反的趋势.通过理论分析和推导,得出每个尺寸对水...
  • 作者: 任重 李赛男 梁庭 洪应平 熊继军 郑庭丽
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年9期
    页码:  583-587
    摘要: 研究了一种基于质量分数为96%氧化铝陶瓷的无线无源压力传感器,利用陶瓷的多层叠片技术、高温烧结技术和丝网印刷技术完成了压力传感器的设计和制备.分析了传感器的无线耦合测试的理论模型,提出了一种...
  • 作者: 刘连庆 姚萍 童兆宏 董再励
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年9期
    页码:  588-592,609
    摘要: 液体混合是微流控芯片的重要功能之一,微流控液体混合方式可分为主动式和被动式两种.针对目前微流控混合器存在的被动式混合效率不高和主动式混合器制作工艺复杂等问题,研究设计了一种基于雕刻机加工的低...
  • 作者: 王作斌 马斌
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年9期
    页码:  593-597,604
    摘要: 原子力显微镜(AFM)能够以高分辨率和高灵敏度实现液体环境下活细胞的操作和检测,利用AFM力曲线测量功能还可以获得细胞力学特性的相关信息.在简要介绍AFM力曲线测量原理的基础上,从细胞的杨氏...
  • 作者: 刘玉岭 崔晋 王辰伟 高娇娇
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年9期
    页码:  598-604
    摘要: 为了达到Ta的高去除速率,通过实验改变碱性阻挡层抛光液中各组分的体积分数,研究各组分变化对阻挡层材料Cu和Ta抛光速率的影响.碱性阻挡层抛光液中,首先确定磨料及去离子水的比例,然后再改变盐酸...
  • 作者: 刘桂林 张玉峰 李若津 栾晓东 王胜利
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年9期
    页码:  605-609
    摘要: 研究了阻挡层在化学机械抛光过程中表面活性剂的作用.利用5种活性剂体积分数不同的抛光液对3英寸(1英寸=2.54 cm)Cu/Ta/SiO2光片进行抛光.通过抛光前后质量变化可得各晶圆片的抛光...
  • 作者: 张淑娟 徐永宽 洪颖 程红娟 高飞
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年9期
    页码:  610-614
    摘要: 以4H-SiC (0001)面Si面为加工对象,提出了一种可以快速获得平整、无损伤表面的化学机械抛光方法.先在复合铜、锡盘上对2英寸(1英寸=2.54 cm)的SiC晶片进行机械抛光,去除研...
  • 作者:
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年9期
    页码:  前插1,封3
    摘要:

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

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2. 美国《剑桥科学文摘》收录
3. 英国《SA》,INSPEC数据库收录

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