微纳电子技术期刊
出版文献量(篇)
3266
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微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名: 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来,汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体,通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向,为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉:
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN:
1671-4776
CN:
13-1314/TN
出版周期:
月刊
邮编:
050002
地址:
石家庄市179信箱46分箱
出版文献量(篇)
3266
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  • 作者: 赵正平
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2017年1期
    页码:  1-10
    摘要: 进入新世纪,微电子的发展进入纳电子/集成微系统时代,人们在继续发展摩尔定律的同时,创新了超越摩尔定律的微系统三维集成技术.介绍了在成像传感、光集成微系统、惯性传感微系统、射频微系统、生物微系...
  • 作者: 刘圆 张家奇 相文峰 胡明皓 赵昆 钟寿仙
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2017年1期
    页码:  11-15,37
    摘要: 通过化学还原和热处理的方法制备出了具有核壳结构的Ni/NiO纳米线,利用扫描电子显微镜、X射线衍射、热重分析等手段对不同退火温度下的样品进行了结构表征和分析,分析了样品微结构对单根Ni/Ni...
  • 作者: 刘柳 熊成 谢娟
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2017年1期
    页码:  16-20,25
    摘要: 通过简单、快速的两步法成功制得了一系列不同摩尔比的球形TiO2-ZnO复合纳米颗粒.用X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)及紫外-可见漫反射光谱(UV-vis DRS)...
  • 作者: 冉宏霞 刘瑞峰 张雨阳 王硕 范滔 高向明
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2017年1期
    页码:  21-25
    摘要: 使用U-4100紫外可见光光度计和QM 40稳态/瞬态荧光光谱仪分别对不同Ⅴ/Ⅲ比分子束外延(MBE)制备的GaN纳米柱阵列进行了测试,分析了Ⅴ/Ⅲ比对GaN纳米柱表面形貌及发光特性的影响....
  • 作者: 杉山进 李以贵 李俊衡 王欢 颜平 黄远
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2017年1期
    页码:  26-30,52
    摘要: 设计了一种浮动电极型单向换能器(FEUDT)结构,用于激发单向声表面波(SAW),从而实现液体的单向驱动.通过对FEUDT结构模型的阻抗分析与SAW传播分析,获得了SAW驱动器的谐振频率、最...
  • 作者: 吕晓静 朱平
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2017年1期
    页码:  31-37
    摘要: 为了提高微型超级电容器的电化学性能,对其阻抗谱特性进行分析.通过三电极体系对微型超级电容器进行电化学阻抗谱(EIS)测试以及恒流充放电测试,分析复阻抗平面图及波特(Bode)图,获得内部体系...
  • 作者: 付蕊 刘虎 涂洁磊 白一鸣 陈吉堃 陈诺夫 陶泉丽 马大燕
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2017年1期
    页码:  38-42
    摘要: 宽光谱低反射率减反射膜对提高GaAs基多结太阳电池的光电转换效率至关重要.设计和制备了宽光谱TiO2/Al2O3/SiO2三层减反射膜.理论研究发现,当TiO2/Al2 O3/SiO2三层减...
  • 作者: 张立辉 施玉书 朱振东 李伟 李琪 李群庆 李适 范守善 高思田
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2017年1期
    页码:  43-47,70
    摘要: 纳米压印光刻技术具有低成本、高效率、大面积、高分辨、多尺度、良好的工艺兼容性等特点,可用于亚波长光电子器件的研究.提出了硅水合物(HSQ)/聚丙烯酸甲酯(PMMA)双层胶室温纳米压印工艺方法...
  • 作者: 张文倩 王仲杰 王胜利 王辰伟 郑环
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2017年1期
    页码:  48-52
    摘要: 在工作压力为2 psi(1 psi=6 894.76 Pa)、抛光头转速为55 r/min、抛盘转速为60 r/min、流量为50 mL/min的条件下,对3英寸(1英寸=2.54 cm)的...
  • 作者: 张荷 彭丽英 李海洋 赵东风 酒江波 韩丰磊
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2017年1期
    页码:  53-57
    摘要: 在利用离子迁移谱(IMS)技术在大气压下进行物质检测时,湿度会对其检测结果造成显著影响.这说明湿度变化引起了迁移管内各离子反应的变化,从而影响了离子迁移谱的性能.但是通过目前的实验手段无法观...
  • 作者: 何平 刘玉岭 张文霞 张金 潘国峰 牛新环 王辰伟 闫辰奇
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2017年1期
    页码:  58-64
    摘要: 结合实验数据详细地分析了基于不同粒径硅溶胶磨料的抛光液对铜化学机械平坦化(CMP)性能的表征.研究表明,磨料粒径是决定CMP效率和最终晶圆表面平坦化质量的重要因素.分析了化学机械抛光过程中的...
  • 作者: 刘玉岭 周建伟 张乐 王仲杰 王辰伟 郑环
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2017年1期
    页码:  65-70
    摘要: 研究了以H2 O2为氧化剂,不同的pH值(2,4,6,8,10)对Ru的去除速率(vRu)和静态腐蚀速率(vSER)的影响,同时用电化学的方法研究了H2O2和pH值对Ru表面的动态极化曲线的...
  • 作者:
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2017年1期
    页码:  72,封3
    摘要:

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

微纳电子技术评价信息

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2. 美国《剑桥科学文摘》收录
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