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真空
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本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
期刊荣誉：
中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
工程技术类核心期刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
出版周期：
双月刊
邮编：
110042
地址：
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刊名： 真空发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 分流法超高/极高真空校准装置由极高真空(XHV)系统、超高真空(UHV)系统、流量分流系统三部分组成.使用磁悬浮涡轮分子泵和非蒸散型吸气剂泵组合抽气在XHV校准室获得了10-10 Pa的极高...
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刊名： 真空发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 山楂营养丰富,食用不便,冻干加工成山楂粉,可作为食品添加剂.为保存营养成分,节能降耗,降低产品成本,开展了对山楂浆抽真空自冻结,优化干燥工艺的实验研究,给出了冻干参数对冻干速率,冻干时间,冻...
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刊名： 真空发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 引入"物质吉布斯自由能函数法"讨论在不同压力下,磷酸钙、二氧化硅与还原剂碳的反应生成黄磷的热力学条件.研究表明在常压下反应在1460K以上发生;真空条件下,压力降到60～6 Pa时,反应在1...
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4. 磁控溅射靶的磁路设计刊名： 真空发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 磁控溅射是现代最重要的镀膜方法之一,具有简单,控制工艺参数精确和成膜质量好等特点.然而也有靶材利用率低、成膜速率低和离化率低等缺点.研究表明磁场结构对上述问题有重要影响,本文介绍了一种磁控溅...
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5. 一种全靶腐蚀磁控溅射设备刊名： 真空发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 传统的磁控溅射设备由于等离子体在靶面形成跑道效应,所以存在着靶材利用率低,反应溅射过程中稳定性差的问题.M.J.Thwaites提出了一种利用磁场将等离子体产生与溅射分开的结构,本文基于这种...
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刊名： 真空发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 本文阐述了改造普通真空蒸发镀膜机为多功能镀膜机的意义,叙述了具体的改造方法,介绍了改造后的多用途镀膜机在本科生教学实验和科学工作中的应用与效果.
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刊名： 真空发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 类金刚石(DLC)膜是一种含有大量sp3的亚稳态非晶碳薄膜.本文简要地介绍了DLC膜的形成原理、制备方法、发展现状,及其在机械、电子、光学、声学、生物医学等领域的应用与存在的问题.
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8. 信息刊名： 真空发表期刊： 2007年6期页码:摘要：
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刊名： 真空发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 采用中频交流磁控溅射方法,在Mo层上沉积了CuInGa(CIG)预制膜,采用固态硒化法制备获得了Cu(In1-xGax)Se2(CIGS)吸收层薄膜,考察了硒源温度对CIGS薄膜结构和形貌的...
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刊名： 真空发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 本文提出了一种新颖的结合自组装技术和电子束直写曝光以及选择性化学沉积制备图案化薄膜方法.利用X-射线光电子能谱(XPS),扫描电子显微镜(SEM),透射电子显微镜(TEM)紫外可见光谱仪(A...
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11. 直流磁控溅射制备铝薄膜的工艺研究刊名： 真空发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 采用直流磁控溅射方法,以高纯Al为靶材,高纯Ar为溅射气体,在玻璃衬底上成功地制备了铝薄膜,并对铝膜的沉积速率、结构和表面形貌进行了研究.结果表明:Al膜的沉积速率随着溅射功率的增大先几乎呈...
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刊名： 真空发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 本文采用射频反应磁控溅射技术制备氧化铬涂层并在不同温度及不同的保温时间内进行热处理,通过X射线衍射、纳米压痕、摩擦磨损测试仪等研究温度及保温时间对涂层结构、表面形貌、硬度、弹性模量、耐磨性及...
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13. 会议消息刊名： 真空发表期刊： 2007年6期页码:摘要：
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刊名： 真空发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 采用射频磁控溅射法在单晶硅表面制备了类金刚石薄膜;对薄膜的电阻率进行了测量,研究了薄膜的溅射工艺参数,采用拉曼光谱、原子力显微镜、扫描电镜分析了薄膜的结构、表面形貌以及薄膜的截面形貌.结果表...
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刊名： 真空发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 采用真空热蒸发法在玻璃、单晶硅衬底上制备Ce2O3掺杂TiO2薄膜,研究热处理和Ce2O3掺杂对薄膜性能的影响.结果显示,热处理可明显改善薄膜的结构和光学性能,Ce2O3掺杂可降低薄膜晶型转...
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刊名： 真空发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 利用直流磁控溅射法在有机薄膜衬底和普通玻璃衬底上制备出了具有良好附着性的ZnO∶Al透明导电膜,对制备薄膜的结构和光学特性进行了比较研究.研究发现:铝掺杂的氧化锌薄膜是多晶膜,具有六角纤锌矿...
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17. 高频无极灯真空系统的研究刊名： 真空发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 高频无极灯的灯泡真空度高低,不仅关系灯光效的高低,而且影响灯的使用寿命,因此,灯泡真空系统的设计和抽真空系统的抽真空过程是灯泡生产工艺的关键环节,本文以典型的高频无极灯的高真空系统抽气为例,...
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18. 玻璃真空系统及其测量与检漏刊名： 真空发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 为不熟悉工程实际的理科学生设计制造了玻璃制扩散泵真空系统实物模型,使其直观地了解真空获得、测量和检漏的工作原理.简述其构造及由此模型可具体理解的内容.
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刊名： 真空发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 双活塞缸式气动真空发生器相对于目前广泛使用的射流式真空发生器,它具有供给压力低、耗气量少的优点,在气动真空系统中具有很大的应用前景.文中针对原系统中设计的不足,提出了以一个抽气换向阀替代原有...
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刊名： 真空发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 聚焦离子束(FIB)技术是一种集形貌观测、定位制样、成份分析、薄膜淀积和无掩模刻蚀各过程于一身的新型微纳加工技术.它突破了只能对表层成像和分析的局限,可以对样品进行三维的、表面下的观察和分析...
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21. 真空荧光显示屏玻板的选用刊名： 真空发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 真空荧光显示屏的外壳通常用浮法玻璃做成,要求有足够的强度.本文从材料力学角度出发,分析真空荧光显示屏的外壳所受的剪切应力,吸收他人的经验,并根据自己的试验,确定真空荧光显示屏中浮法玻璃的容许...
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22. 真空绝热板热工性能的研究刊名： 真空发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 介绍真空绝热板的构造及加工工艺,对其高效绝热热工性能进行理论分析及实验数据测试,运用数理统计及计算机数值模拟的方法分析其热工性能随自身参数及制造工艺的变化规律,提出产品生产、施工及使用中应注...
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23. 第十五讲真空工程封接技术刊名： 真空发表期刊： 2007年6期页码:摘要：
真空基本信息
| 刊名 | 真空 | 主编 | 陆国柱 |
| 曾用名 | 真空技术报导 | ||
| 主办单位 | 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 | 主管单位 | 机械工业部期刊管理办公室 中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1002-0322 | CN | 21-1174/TB |
| 邮编 | 110042 | 电子邮箱 | zkzk@chinajournal.net.cn |
| 电话 | 024-24134406 | 网址 | www.vacjour.cm |
| 地址 | 辽宁省沈阳市万柳塘路2号 |
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