真空科学与技术学报期刊
出版文献量(篇)
4084
总下载数(次)
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总被引数(次)
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名: 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊,长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录,已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅,有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿,已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位:
中国真空学会
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
出版周期:
月刊
邮编:
100022
地址:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
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  • 作者: 卢嘉 叶春暖 姚彦 孙大林 徐华华 曹冠英 杨剑 楼成飞 范智勇 莫晓亮 陈国荣
    发表期刊: 2004年2期
    页码:  129-132
    摘要: 本文采用真空饱和蒸汽反应法在相对较低的温度下制备了一系列一维纳米结构的金属有机配合物Ag(TCNQ).用多晶XRD谱表征了样品的成份和晶体结构,通过SEM观察到了不同生长阶段的形貌.纳米晶须...
  • 作者: 刘彭义 叶勤 叶海 唐振方 孙汪典 张丽丽 赵丽特
    发表期刊: 2004年2期
    页码:  133-136
    摘要: 采用射频磁控溅射方法制备出纳米二氧化钛(TiO2)薄膜,研究了不同退火温度对薄膜微观结构和超亲水性的影响.结果表明:退火温度升高,晶粒长大,孔隙率减小;常温制备300 ℃以下退火的TiO2薄...
  • 作者: 何丕模 张寒洁 张建华 李海洋 毛宏颖 鲍世宁 黄寒
    发表期刊: 2004年2期
    页码:  137-141
    摘要: 在Ru(0001)表面上,四个与有机半导体二萘嵌苯(Perylene)分子轨道相关的谱峰分别位于费米能级以下4.5、6.3、7.2、9.9 eV处.在界面处它们的结合能相对较低,反映了界面处...
  • 作者: 刘喜全 刘阳 孙冲 崔展鹏
    发表期刊: 2004年2期
    页码:  142-148
    摘要: 以串联双密封结构为研究对象,建立了串联密封结构系统的数学模型,通过理论分析和数值计算,揭示了串联密封结构系统正压泄漏的漏率、漏量与泄漏时间关系的规律及其影响因素.串联密封结构的泄漏规律可用于...
  • 作者: HT-7真空组 王小明 罗南昌 胡建生 辜学茂
    发表期刊: 2004年2期
    页码:  149-153
    摘要: 主要介绍HT-7超导托卡马克装置真空系统参数的标定和分析.在有无低温泵工作条件下,分别测量了HT-7真空系统对氢气、氘气、氦气和氮气的抽速曲线.分析包括器壁吸附等因素对HT-7真空系统不同气...
  • 作者: 刘志凯 周剑平 宋书林 李艳丽 杨少延 柴春林 陈诺夫
    发表期刊: 2004年2期
    页码:  154-156
    摘要: 采用离子束技术,在n型硅基片上注入稀土元素钆,制备了磁性/非磁性p-n结.本文中使用的XPS对制备的样品进行测试,利用Origin 7.0提供的PFM工具进行研究,O1s束缚能介于金属氧化物...
  • 作者: 丁桂甫 张丛春 杨春生 黄龙旺
    发表期刊: 2004年2期
    页码:  157-160
    摘要: 对PMMA进行反应离子深刻蚀以获得高深度比微结构.研究了纯氧刻蚀气体中加入CHF3对刻蚀速率、图形形貌等的影响.纯氧刻蚀PMMA,钻蚀现象严重.加入CHF3后,刻蚀速率随CHF3含量增加而下...
  • 作者: 唐天同 康永锋 王兆宏
    发表期刊: 2004年3期
    页码:  161-165
    摘要: 电子的热初速对强流电子注磁聚焦系统的性能具有重大的影响.本文提出了一种新方法,系统地考虑电子热初速分布和空间电荷效应计算非层流强流电子注聚焦系统;导出了局部正交曲线坐标系中电流密度分布的演化...
  • 作者: 何乐年 刘磊 陈忠景
    发表期刊: 2004年3期
    页码:  166-168
    摘要: 本文研究了表面处理对n-GaN上无合金化的Ti/Al电极起的作用,比较了(NH4)2Sx和CH3CSNH2两种不同的表面处理方法.在用CH3CSHN2/NH4OH溶液处理过的样品上制作的无合...
  • 作者: 孙兆奇 宋学萍 王佩红 王磊 蔡琪
    发表期刊: 2004年3期
    页码:  169-172
    摘要: 用射频磁控共溅射法制备了Au体积分数分别为6%、15%、25%、40%、50%和60%的Au-MgF2复合纳米颗粒薄膜.用X射线衍射、透射电镜、X射线光电子能谱对薄膜的微结构和组分进行了测试...
  • 作者: 王新华
    发表期刊: 2004年3期
    页码:  173-176,190
    摘要: 以SiC超细粉为原料、利用热等离子体PVD(TPPVD)技术快速制备出了优质非晶态和纳米晶SiC薄膜.用扫描电子显微镜、高分辨透射电子显微镜、X射线衍射和X射线光电子谱、红外分光谱对薄膜的微...
  • 作者: 尹涵春 屠彦 张健
    发表期刊: 2004年3期
    页码:  177-181
    摘要: 本文采用二维流体模型研究荫罩式PDP(SMPDP)结构放电单元内的放电过程,并在此基础上与表面电荷法结合模拟各电极上的电流.给出了寻址周期和维持周期各电极上的电流变化过程.研究了在不同寻址电...
  • 作者: 崔晓莉 张群 杨锡良 沃松涛 沈杰 章壮健 蔡臻炜
    发表期刊: 2004年3期
    页码:  182-186
    摘要: 用直流磁控溅射方法在Si(100)面及载玻片上制备了Sb掺杂TiO2薄膜.利用XRD光谱研究了Sb对其薄膜结晶情况的影响,用AFM观察其表面形貌,利用分光光度计测量了TiO2薄膜的光学特性及...
  • 作者: 支壮志 王博 肇常胜
    发表期刊: 2004年3期
    页码:  187-190
    摘要: 研究ZnO薄膜质量与退火温度的关系,为了获得高质量的晶体薄膜,采用PECVD方法在硅(100)衬底上生长ZnO薄膜,生长温度为120℃,然后分别在氧气环境下退火(600℃~1000℃)1 h...
  • 作者: 吉雅图 李健
    发表期刊: 2004年3期
    页码:  191-194
    摘要: 采用真空气相沉积法在玻璃衬底上制备纳米级ZnO和CdS薄膜.研究掺In和热处理对ZnO、CdS薄膜结构、光学特性的影响.实验给出,适当掺杂能够明显改善纳米ZnO、CdS薄膜的物相结构,ZnO...
  • 作者: 宗志园 常本康 杜晓晴
    发表期刊: 2004年3期
    页码:  195-198
    摘要: 为了获得高量子效率的GaAs光电阴极,要求GaAs材料的电子扩散长度足够长,且电子表面逸出几率大,这对p型掺杂浓度提出了两个矛盾的要求,需要进行优化.本文建立了电子扩散长度与p型掺杂浓度的关...
  • 作者: 吴锦雷 张兆祥 张琦锋 张耿民 薛增泉 赵兴钰 郑文丰 陈贤祥 陈长琦
    发表期刊: 2004年3期
    页码:  199-202
    摘要: 用场发射显微镜研究了在钨针尖上生长的氧化锌纳米线的场发射性能,得到了氧化锌纳米线的场发射像及场发射电流与电压关系,并讨论了氧化锌纳米线场发射像的形成原因和不同热处理条件对其场发射性能的影响,...
  • 作者: 丁延伟 张海欧 王荣 裴元吉
    发表期刊: 2004年3期
    页码:  203-207
    摘要: 合肥光源的脉冲切割磁铁表面用等离子体喷涂了一层A12O3,发现这种涂层表面出气率较小,这种特性对于维持注入段的系统真空度,提高束流寿命很有好处.本文的工作是制备了涂层样品,进行了真空环境下的...
  • 作者: 匡同春 成晓玲 杨元政 王国庆 白晓军 胡社军 谢光荣 谢致薇
    发表期刊: 2004年3期
    页码:  208-212,215
    摘要: 采用XPS方法研究了TiMeXN多元膜内各元素的化学状态,结果表明,添加元素改变了TiN中Ti元素特征峰的位置和形状.首先,使Ti、N峰强度增大,O峰强度减弱;其次,使Ti2p1/2峰、Ti...
  • 作者: 上田裕清 向因 季振国
    发表期刊: 2004年3期
    页码:  213-215
    摘要: 用溶胶-凝胶(sol-gel)法和真空热蒸发沉积制备了氧化锌/酞菁铅交替生长复合多层膜,并对复合膜的光吸收性能进行了研究.实验发现,复合膜的紫外-可见吸收谱中,酞菁铅的Q带吸收峰同时具有明显...
  • 作者: 张锐 徐蕾 汪磊 程诚 詹如娟
    发表期刊: 2004年3期
    页码:  216-218
    摘要: 研究了梳状电极结构对大气压表面放电的影响,发现频率固定时放电电流随着外加电压的增加而增加,而电压固定时在某个频率范围内放电电流有最大值;在相同的电压和频率下较宽的电极条宽可以产生较大的放电电...
  • 作者: 李蓉萍 荣利霞
    发表期刊: 2004年3期
    页码:  219-221
    摘要: 利用真空蒸发技术在CdS粉末中掺入不同比例的Se粉末作源,选择合适的工艺条件在玻璃衬底上获得了性能稳定的Cd(Se,S)薄膜,薄膜为纤锌矿结构,具有沿[002]晶向的择优取向.Cd(Se,S...
  • 作者: 殷立新 蒋迪奎 陈丽萍
    发表期刊: 2004年3期
    页码:  222-224
    摘要: 不改变商用SIP的基本结构,把NEG组件WP1250装入SIP,构成(SIP+NEG)的XHV复合泵.它使SIP和NEG的特点互补,综合性能优越.NEG激活前,SIP单独抽气,极限压强1.1...
  • 作者: 蒋迪奎 陈丽萍
    发表期刊: 2004年3期
    页码:  225-229
    摘要: NEG抽除混合气体的行为不同于抽单纯气体.测试了SEAS公司的NEG组件ST707WP 1250对由80%H2和20%CO组成的混合气体的抽气性能,并和抽纯气性能进行了比较.混合气体中的NE...
  • 作者: 丁建宁 朱守星 李长生 杨继昌 范真 蔡兰 陈曦
    发表期刊: 2004年3期
    页码:  230-232,237
    摘要: 本文用侧向力显微镜(Lateral Force Microscope,LFM)研究不同厚度类金刚石(Diamond-Like Carbon,DLC)膜的摩擦性能.对厚度为153.4 nm,6...
  • 作者: 于永澔 刘洪喜 汤宝寅 王宇航 王晓峰 王松雁 王浪平 甘孔银
    发表期刊: 2004年3期
    页码:  233-237
    摘要: 采用等离子体浸没离子注入沉积(PIIID)技术在GCr15轴承钢表面形成TiN薄膜,并采用划痕法对不同参数条件下膜层的膜基结合力进行了测量.结果发现:适当的氩离子溅射清洗和加入合适的过渡层可...
  • 作者: 刘坤 季振国 宋永梁 杨永德 赵士超
    发表期刊: 2004年3期
    页码:  238-240
    摘要: 利用溶胶-凝胶涂膜技术及高温固相反应技术,在硅片表面生长了掺铽和锰的两种高效硅基光致发光膜.XRD和吸收光谱分析测试结果表明,当固相反应温度高于850℃时,在硅片表面形成了晶态的Zn2SiO...
  • 作者: 侯士敏 吴全德 申自勇 薛增泉 赵兴钰
    发表期刊: 2004年4期
    页码:  241-244
    摘要: 接触是纳电子器件研究中的重要课题.我们以由6个金原子构成的Au6原子线簇为核心工作区的原型纳电子器件为例,利用Green函数方法计算了它的电流-电压特性.计算结果表明,随着Au6原子线簇与两...
  • 作者: 吴雪梅 成珏飞 诸葛兰剑
    发表期刊: 2004年4期
    页码:  245-248
    摘要: 以Ge-SiO2和Si-SiO2复合靶作为溅射靶,分别采用射频磁控溅射技术和双离子束溅射技术制得了Ge-SiO2和Si-SiO2薄膜.然后分别在N2气氛中经过600 ℃-1000 ℃的不同温...
  • 作者: Daniel den Engelsen Wilbert wan der Poel 仲雪飞 尹涵春
    发表期刊: 2004年4期
    页码:  249-254,262
    摘要: 基于二次电子发射的场致发射显示器(HOPFED)是一种新型的场致发射器件.其新颖之处在于其独特的支撑形状,这种结构的优点是充分提高了场致发射显示的性能,如对比度、色纯及像素内的发光均匀性,并...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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