真空科学与技术学报期刊
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真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名: 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊,长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录,已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅,有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿,已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位:
中国真空学会
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
出版周期:
月刊
邮编:
100022
地址:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
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  • 作者: 余愚 余翠兰 梁其诚 邓志平
    发表期刊: 2014年1期
    页码:  1-4
    摘要: 为使难挥发性液态气源更好地挥发制取标准气体,提出一种利用负压吸动效应的雾化配气法.设计了结构精密的雾化发生池,用实验的方法确定影响发生池负压值的各种参数,在实际应用中达到良好的效果.利用三种...
  • 作者: 于振华 姜康 李志远
    发表期刊: 2014年1期
    页码:  5-9
    摘要: 双级滑阀真空泵机构运动复杂,运用计算多刚体系统动力学方法进行分析计算,可以获得复杂动力方程的精确解.本文利用计算多刚体系统动力学分析了滑阀泵的振动平衡,推导了有关计算公式,综合了影响振动平衡...
  • 作者: 刘加利 张卫华 张继业
    发表期刊: 2014年1期
    页码:  10-15
    摘要: 对真空管道高速列车气动阻力特性和系统参数设计方法进行了深入系统研究,建立低压环境下真空管道高速列车的空气动力学计算模型,研究管道压力、阻塞比和列车速度对列车气动阻力的影响.在此基础上,以明线...
  • 作者: 张悦 徐洋 董闯 郝胜智
    发表期刊: 2014年1期
    页码:  16-19
    摘要: 对YG6X硬质合金进行强流脉冲电子束(HCPEB)表面辐照处理.利用金相显微镜、扫描电镜和X射线衍射方法分析样品表层显微组织和相成分变化,测量HCPEB改性样品表面显微硬度和摩擦磨损性能.结...
  • 作者: 黄超
    发表期刊: 2014年1期
    页码:  20-24
    摘要: 在推导傅里叶变换静电场离子阱离子运动规律的基础上,得出了离子的最佳入射条件.研究了离子在不同初始条件下进入离子阱后的运动状态,计算出了离子能够被离子阱束缚的入射动能范围.分析了入射动能范围与...
  • 作者: 冯驹先 干蜀毅 张霖 徐中堂 徐飞 王硕 谭昱全
    发表期刊: 2014年1期
    页码:  25-27
    摘要: 低温泵在当今生产研究过程中应用广泛,但其每工作一段时间后都需要进行“再生”,所需时间长,泵效率低.本文对一种低温泵的吸附阵结构分析并设计了一种结合自动控制功能的快速再生加热系统,该系统由单片...
  • 作者: 何江玲 刘湘云 张亚平 朱颖峰
    发表期刊: 2014年1期
    页码:  28-31
    摘要: 杜瓦真空夹层材料会漏、放气,夹层材料的放气是影响真空寿命的主要因素.材料出气会缩短真空寿命,或者使器件性能下降.在杜瓦制作的排气工艺中,需要更高一些的烘烤温度,或者持续更长的烘烤时间.制定合...
  • 作者: 姜晓辉 张文余 张金中 田宗民 谢振宇 郭建 闵泰烨 陈旭
    发表期刊: 2014年1期
    页码:  32-37
    摘要: 通过对低速沉积的栅极绝缘层(GL层)和低速沉积的有源层(AL层)的薄膜沉积条件进行了优化,分析了沉积AL层的功率,间距等条件的变更对薄膜的沉积速率和均匀性的影响,解释这些工艺条件对Ⅰon的影...
  • 作者: 刘纯亮 屠震涛 张小宁 韦海成
    发表期刊: 2014年1期
    页码:  38-42
    摘要: 针对等离子体显示器(PDP)显示静态图像时产生的瞬时残像,通过研究瞬时残像的形成原因及其自恢复过程中的光电特性,提出了一种动态调整维持波形改善瞬时残像的方法.该方法根据图像的平均值(APL)...
  • 作者: 张世昌 王书见 王自成 薛谦忠 郭际
    发表期刊: 2014年1期
    页码:  43-48
    摘要: 分析了单注折叠波导行波管增益和带宽的限制因素,提出了采用双注结构提高单位长度增益和拓宽带宽的方法.模拟结果表明,在工作电压和单注电流相同的情况下,采用同速双注(两电子注速度相同)可将高频互作...
  • 作者: 周守利 安军社 李伽 梁显锋
    发表期刊: 2014年1期
    页码:  49-52
    摘要: AlGaN/4H-SiC异质结界面存在大的自发和压电极化效应,从而使界面出现较多数量的极化电荷,这导致器件电学性能的改变.利用热场发射-扩散模型,基于数值模拟方法研究了异质结界面极化效应产生...
  • 作者: 张荣良 李夏
    发表期刊: 2014年1期
    页码:  53-59
    摘要: 根据“收缩核模型”和扩散理论研究了高炉粉尘球团真空碳热还原过程中Zn还原动力学.详细考察了系统压强、球团直径、还原温度对Zn还原率的影响.研究结果表明,碳气化和界面反应的表观活化能相对于锌蒸...
  • 作者: 傅大学 冯乃祥 彭建平 狄跃忠 王耀武
    发表期刊: 2014年1期
    页码:  60-67
    摘要: 研究了白云石和菱镁石的煅烧条件对获得的熟料压制成球团的密度的影响,并以菱镁石和白云石的混合物为原料,铝粉为还原剂考察了煅烧条件对还原过程的影响.实验结果表明:随着菱镁石和白云石煅烧温度的提高...
  • 作者: 叶超 崔进 钱侬
    发表期刊: 2014年1期
    页码:  68-73
    摘要: 采用60 MHz/2 MHz双频率驱动的容性耦合放电等离子体技术,以C2F6/O2/Ar为刻蚀气体,开展了SiCOH低k介质中刻蚀低表面粗糙度沟道的研究.主要研究了O2/C2F6流量比对与S...
  • 作者: 姚志强 林钰 田莉 胡斌 董林 辛荣生
    发表期刊: 2014年1期
    页码:  74-78
    摘要: 采用射频/直流磁控共溅射法制备不同Cu掺杂量的氧化钛薄膜,研究了Cu掺杂对TiO2膜吸收边红移的影响,并探索其机理.发现当TiO2溅射功率为160 W,Cu溅射功率为30W时,TiO2薄膜的...
  • 作者: 于飞 曾群锋
    发表期刊: 2014年1期
    页码:  79-83
    摘要: 采用ANSYS有限元软件模拟了磨粒磨损中类金刚石(DLC)膜与磨粒在旋转滑动中的接触过程,分析了DLC膜表层在整个接触过程中的应力应变和接触压力的变化规律,研究了滑动接触次数对DLC膜残余应...
  • 作者: 唐中华 徐东升 洪布双 辛煜
    发表期刊: 2014年1期
    页码:  84-90
    摘要: 利用微波共振探针对40.68 MHz单射频容性耦合SF6、Q2、O2/Ar电负性等离子体电子密度进行了诊断测量.首先,将微波共振探针在Ar等离子体中的测量结果与朗缪尔探针结果进行对比,确定微...
  • 作者: 卢景霄 李新利 郝秀利 陈喜平 陈永生
    发表期刊: 2014年1期
    页码:  91-95
    摘要: 甚高频等离子体增强化学气相沉积技术是当前高速制备优质微晶硅(uc-Si:H)薄膜的主流方法,其生长机理也一直是研究的热点和难点.本文采用Comsol软件中的等离子模块和Chemkin软件中的...
  • 作者: 张永爱 杨尊先 林金阳 郭太良
    发表期刊: 2014年1期
    页码:  96-99
    摘要: 采用磁场后处理法改变碳纳米管的表面结构,增强了碳纳米管场发射性能.采用SEM对样品的处理前后的形貌进行了表征,场发射的数据显示,相对于,未经过任何处理的碳纳米管阴极,磁场后处理过的碳纳米管冷...
  • 作者:
    发表期刊: 2014年1期
    页码:  后插1
    摘要:

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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