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真空科学与技术学报期刊
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名： 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
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4084
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19905
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  • 1. 双光栅绕射辐射器件中模式竞争问题的研究
    作者： 吕国强 杨军 邓光晟 阮久福
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年9期
    页码:  883-889
    摘要： 对双光栅绕射辐射器件谐振系统的模式竞争特性进行了分析,研究了工作模式的主要竞争模式及其抑制措施.结果表明,双光栅绕射辐射器件工作模式的主要竞争模式为满足开放边界条件的光栅表面慢波模式,而减小...
  • 2. 聚碳酸酯表面碳基薄膜的制备及其光学性能研究
    作者： 巴德纯 王凤 程春玉 蔺增
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年9期
    页码:  890-895
    摘要： 用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)方法在聚碳酸酯(PC)片上沉积类金刚石(DLC)薄膜,用射频磁控溅射方法制备过渡层以提高膜基结合力及控制光路.本文利用激光拉曼光谱检测薄膜的...
  • 3. 敏感陶瓷表面溅射金属化研究
    作者： 王德苗 王文婷
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年9期
    页码:  896-899
    摘要： 以负温度系数(NTC)热敏陶瓷为例,采用直流磁控溅射技术在陶瓷表面制备了过渡层+阻挡层+焊接层的复合溅射膜电极,其中Ni-V薄膜作为过渡层兼阻挡层,Ag作为焊接层.并对NTC热敏陶瓷的各项电...
  • 4. 氯化钙溶液液滴真空闪蒸再生的实验研究
    作者： 时亚茹 曹丹 高文忠
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年9期
    页码:  900-904
    摘要： 基于探索氯化钙除湿溶液液滴在真空闪蒸过程中的再生机理,搭建了液滴真空闪蒸特性研究的实验台.针对真空压力、液滴初始半径、初始温度、初始浓度等因素对氯化钙液滴闪蒸特性的影响,进行了多组实验研究....
  • 5. 真空条件下铜-石墨-NbSe2自润滑复合材料的摩擦学性能研究
    作者： 唐华 孙建荣 廖东侯 李长生
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年9期
    页码:  905-909
    摘要： 采用粉末冶金的方法制备出含纳米NbSe2(1％～9％(质量比))的铜-石墨复合材料.在UMT-2及超低温摩擦磨损试验机上进行材料摩擦实验,通过X射线衍射仪、扫描电子显微镜分析其物相及磨痕形貌...
  • 6. 基于反应气体和生长温度的Nb掺杂TiO2薄膜相图研究
    作者： 吕伯超 巴德纯 李海峰 杜宇 王贺权
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年9期
    页码:  910-914
    摘要： 应用射频磁控溅射设备在超白玻璃和石英玻璃等非晶基体上生长Nb掺杂TiO2薄膜.在固定的电源功率、频率、靶基距和溅射时间的条件下,通过改变基体温度、反应气体及其含量,可以得到相对准确的晶相分布...
  • 7. 氢化处理对Li-W共掺杂ZnO薄膜性能的影响
    作者： 刘细妹 张志明 张效华 徐斌 胡跃辉 陈义川 马德福
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年9期
    页码:  915-920
    摘要： 不同H2气氛中通过RF磁控溅射在石英衬底上制备Li-W共掺杂ZnO(LWZO)薄膜.对样品进行X射线衍射、扫描电镜(SEM)、X射线光电子(XPS)、透过率以及室温光致发光(PL)谱分析.结...
  • 8. 冲击载荷作用下金属薄膜缺陷的多尺度分析
    作者： 姜文全 巴德纯 杜广煜 杨帆 查英英
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年9期
    页码:  921-924
    摘要： 应用多尺度方法研究金属薄膜-基体结构中的缺陷在冲击载荷条件下的变化规律和力学行为.多尺度方法结合了分子动力学和有限元方法,分子动力学方法用于纳米薄膜中的局部缺陷区域,有限元方法用于整个膜-基...
  • 9. PLD制备CuAlO2薄膜的结构与性能研究
    作者： 嘉蓉 张亦弛 汪海鹏 邹友生
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年9期
    页码:  925-930
    摘要： 通过固相反应烧结在高温下制备出高致密度的纯相CuAlO2陶瓷靶材.采用脉冲激光沉积技术在蓝宝石和石英衬底上制备了CuAlO2薄膜,为进一提高CuAlO2薄膜性能,对样品进行了退火处理.通过X...
  • 10. TiO2薄膜光电导与光催化性能关系的研究
    作者： 刘涌 宋晨路 杨振辉 苏婷 韩高荣
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年9期
    页码:  931-937
    摘要： 采用溶胶-凝胶法在石英基板上旋涂制备不同系列的TiO2薄膜样品(掺F浓度、保温时间、薄膜厚度、晶型),并用X射线衍射等分析测试手段对样品的结构等性能进行表征.通过对薄膜样品光降解亚甲蓝溶液的...
  • 11. 溶胶-凝胶法制备柱状TiO2薄膜及其光催化性能研究
    作者： 丛炳俊 刘涌 宋晨路 王慷慨 王菊 韩高荣
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年9期
    页码:  938-942
    摘要： 采用溶胶-凝胶法,由硝酸取代有机络合剂来抑制钛酸四丁酯的水解,在石英基板衬底上采用多次旋涂成功制备了锐钛矿相柱状晶TiO2薄膜,并研究了退火温度对结晶性能的影响.当退火温度在400～550℃...
  • 12. H13钢-TiAlN渗/镀复合层承载能力研究
    作者： 刘小萍 刘海彬 张民权 杨灵华 鲍明东
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年9期
    页码:  943-949
    摘要： 在H13钢离子氮化基体上沉积TiAlN镀层,在其表面形成渗镀复合层,研究渗氮基体不同表面预处理对渗/镀复合层微观形貌及承载能力的影响.用压痕和划痕试验综合检测膜基体系的承载能力,用扫描电镜和...
  • 13. 立方氮化硼薄膜的制备及研究
    作者： 王明娥 董闯 马国佳
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年9期
    页码:  950-955
    摘要： 通过工艺对比,考察了过渡层在降低立方氮化硼薄膜内应力方面的作用,并研究了薄膜的力学性能.结果表明B-C-N三元过渡层的添加有效地降低了薄膜内应力.X射线光电子能谱结果显示在B-C-N三元过渡...
  • 14. 硼硅玻璃表面沉积TiAlN/SiN薄膜的结构及性能
    作者： 吴海忠 李金龙 王永欣 王立平 王蕊 胡建民
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年9期
    页码:  956-960
    摘要： 采用连续式磁控溅射技术在硼硅玻璃表面沉积了TiAlN/SiN复合薄膜.制备的复合薄膜表面光滑致密,内层TiAlN薄膜为柱状晶结构,厚度约为109 nm,外层SiN薄膜为非晶结构,厚度约为67...
  • 15. Ti6Al4V表面沉积TiCN薄膜的结构及水环境中的摩擦学性能
    作者： 李金龙 王永欣 王立平 薛群基 钟华生
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年9期
    页码:  961-965
    摘要： 本文采用多弧离子镀技术在Ti6Al4V合金表面沉积TiCN防护薄膜,研究该薄膜在干摩擦,水及海水介质条件下的摩擦学行为.研究结果显示,所制备的TiCN薄膜具有均匀致密的结构,薄膜厚度约为lμ...
  • 16. 氮氧化铪薄膜力学与光学特性研究
    作者： 张玲 李晨 熊玉卿 王多书 王济洲 董茂进
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年9期
    页码:  966-969
    摘要： 氮氧化铪薄膜透射率高,带隙宽,机械性能好,是一种较好的窗口保护薄膜.采用离子束辅助反应蒸发的方法沉积具有高透射率的多光谱氮氧化铪薄膜,通过控制沉积速率改变膜层中N、O化学计量比,研究氮氧化铪...
  • 17. 沉积角度对激光沉积类金刚石膜的影响
    作者： 孙斌 王淑云 程勇 郭延龙 陆益敏 黄国俊
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年9期
    页码:  970-973
    摘要： 在光学级双面抛光硅衬底上,采用准分子KrF激光,保持激光单脉冲能量700 mJ和激光功率密度8.27× 108W/cm2不变,通过倾斜衬底的方法,在沉积角度(等离子体中粒子的飞行方向与衬底表...
  • 18. 硫渣真空蒸馏的实验探究
    作者： 张洋洋 徐宝强 戴永年 李一夫 杨斌
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年9期
    页码:  974-977
    摘要： 采用真空蒸馏方法对硫渣进行处理,热力学计算表明:在系统压力10 Pa,蒸馏温度1173 K时,渣中Cu2S与Sn反应的△G值为-20343 J.在系统压力5～20 Pa,蒸馏温度1173 K...
  • 19. 真空精炼提纯工业硅除钙研究
    作者： 戴永年 杨斌 郑达敏 马文会 魏奎先
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年9期
    页码:  978-983
    摘要： 钙是工业硅中的主要杂质元素之一,将其有效去除的方法之一是真空挥发技术.本文在真空挥发精炼除钙理论研究的基础上,开展了工业硅真空挥发精炼除钙的实验研究,考查了精炼时间、精炼温度等因素对钙去除效...
  • 20. 容性耦合等离子体的均匀性研究
    作者： 丁可 唐优青 赵建钢 郭颖
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年9期
    页码:  984-990
    摘要： 使用朗缪尔双探针诊断方法,研究放电极板配置和放电参数对13.56 MHz容性耦合等离子体的电子温度、电子密度和电子能量密度分布的影响.其中极板配置包括圆孔极板、极板数量和极板间距,放电参数包...
  • 21. 无硫化过程磁控溅射制备Cu2ZnSnS4薄膜及其结构和光学性质研究
    作者： 常方高 张基东 曹伟伟 李美成 杨海刚 郝瑞亭
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年9期
    页码:  991-996
    摘要： 使用Ct2ZnSnS4 (CZTS)靶材,通过射频磁控溅射方法镀膜,不经后期硫化处理,在钠钙玻璃衬底上沉积了锌黄锡矿结构的CZTS薄膜材料.在薄膜的沉积过程中,衬底温度分别为300,400和...
  • 22. Sol-gel法制备Co-Mn共掺杂ZnO粉体和红外发射率的研究
    作者： 曹全喜 李会会 李智敏 王妍 黄云霞
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年9期
    页码:  997-1004
    摘要： 采用溶胶-凝胶法制备不同Co-Mn共掺杂浓度的ZnO前驱体,并在不同温度下对其进行煅烧.由X射线衍射分析可知,煅烧后所得粉体均为六角纤锌矿结构的ZnO,并且沿(101)晶面择优生长,没有生成...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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