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集成光路激光束绘制系统
集成光路激光束绘制系统
作者:
Harun.,M华
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集成光路
激光束
绘制系统
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文献信息
篇名
集成光路激光束绘制系统
来源期刊
光学精密机械
学科
工学
关键词
集成光路
激光束
绘制系统
年,卷(期)
1989,(2)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
38-45
页数
8页
分类号
TN491
字数
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DOI
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集成光路
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光学精密机械
主办单位:
长春市理工大学图书馆
出版周期:
季刊
ISSN:
CN:
开本:
出版地:
长春市卫星路7089号
邮发代号:
创刊时间:
语种:
出版文献量(篇)
3901
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