纳米级几何量的计量

• 作者: 吴风 大石忠尚
• 来源期刊: 国外计量
• 学科: 工学
• 关键词: 几何量 计量 纳米级
• 年，卷（期）: 1989,（2）
• 页码范围: 6-8
• 页数: 3页
• 分类号: TB92

摘要

【正】 一、前言拉丁文 nano 原义是小个子或小孩子,在计量的国际单位制中作为词头使用,符号为 n,汉语译作'纳',定义为10^-9。近年来,随着大规模集成电路的高密度化,其线宽已不再是微