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文献信息
篇名 半导体工业使用的高纯化学药品
来源期刊 电子科技杂志 学科 工学
关键词 高纯化学药品 高纯材料 半导体工业 发展动态
年,卷(期) 1990,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 9-12,8
页数 5页 分类号 TN304
字数 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 柴慈钧 1 0 0.0 0.0
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1990(0)
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研究主题发展历程
节点文献
高纯化学药品
高纯材料
半导体工业
发展动态
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电子科技杂志
季刊
西安电子科技大学图书馆情报资料室
出版文献量(篇)
260
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