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应用
综述
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研究主题发展历程
节点文献
有机硅化物膜
制备
绝缘钝化
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
四川真空
主办单位：
四川省真空学会
国投南光有限公司
出版周期：
半年刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
成都市第109信箱207分箱
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
395
总下载数（次）
1
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