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文献信息
| 篇名 | 高性能扫描电镜分辨率测试样品—碳蒸金样品的研制 | ||
| 来源期刊 | 光仪技术 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 扫描 电镜 分辨率 测试样品 碳蒸金 | ||
| 年，卷（期） | gyjs_1990,（4） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 47-49 | |
| 页数 | 3页 | 分类号 | TN16 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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扫描
电镜
分辨率
测试样品
碳蒸金
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期刊影响力
光仪技术
主办单位：
南京光电工程学会
江苏省仪器仪表学会光学仪器专委会
江南光电(集团)股份有限公司
出版周期：
季刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
南京黄家塘8号 江南光学仪器厂
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
266
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