P—CVD过程的双探针测量

孟广耀; 王春林

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P—CVD过程的双探针测量

作者：

孟广耀王春林

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P-CVD

探针

测量

半导体材料

制备

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文献信息

篇名	P—CVD过程的双探针测量
来源期刊	薄膜科学与技术	学科	工学
关键词	P-CVD 探针测量半导体材料制备
年，卷（期）	1990,（3）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	19-27
页数	9页	分类号	TN304.05
字数		语种
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