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等离子体过程监测：中性粒子及正,负带电粒子的质量和能量分析
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文献信息
| 篇名 | 等离子体过程监测：中性粒子及正,负带电粒子的质量和能量分析 | ||
| 来源期刊 | 国外分析仪器技术与应用 | 学科 | 化学 |
| 关键词 | 等离子体 过程监测 粒子 质谱分析 | ||
| 年，卷（期） | gwfxyqjsyyy_1990,（3） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 33-41 | |
| 页数 | 9页 | 分类号 | O6646.9 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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研究主题发展历程
节点文献
等离子体
过程监测
粒子
质谱分析
研究起点
研究来源
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研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
国外分析仪器技术与应用
主办单位：
北京分析仪器研究所
出版周期：
季刊
ISSN：
1001-7828
CN：
11-1088/TH
开本：
出版地：
北京西直门葡萄院17号
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
1087
总下载数（次）
7
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