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分段等厚干涉测量直线度方法误差的探讨
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文献信息
| 篇名 | 分段等厚干涉测量直线度方法误差的探讨 | ||
| 来源期刊 | 唐山工程技术学院学报 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 分段等厚干涉 测量 直线度 误差 | ||
| 年，卷（期） | 1991,（4） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 19-22 | |
| 页数 | 4页 | 分类号 | TG80 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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