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文献信息
篇名 F2底座工艺更改试验总结
来源期刊 永光半导体 学科 工学
关键词 半导体器件 底座 工艺 试验
年,卷(期) 1991,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 23
页数 1页 分类号 TN305.93
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研究主题发展历程
节点文献
半导体器件
底座
工艺
试验
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期刊影响力
永光半导体
年刊
贵州凯里214信箱永光电工厂情报科
出版文献量(篇)
49
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