先进CVD系统用真空炉

王立群

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先进CVD系统用真空炉

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王立群

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CVD系统

真空炉

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文献信息

篇名	先进CVD系统用真空炉
来源期刊	国外稀有金属动态	学科	工学
关键词	CVD系统真空炉
年，卷（期）	1991,（8）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	9-10
页数	2页	分类号	TK175
字数		语种	中文
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