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用火花源质谱法分析半导体中杂质元素
用火花源质谱法分析半导体中杂质元素
作者:
陶美娟
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
火花源质谱法
半导体
杂质元素
摘要:
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文献信息
篇名
用火花源质谱法分析半导体中杂质元素
来源期刊
电子与仪表
学科
化学
关键词
火花源质谱法
半导体
杂质元素
年,卷(期)
1991,(5)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
39-43
页数
5页
分类号
O649.3
字数
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DOI
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1991(0)
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火花源质谱法
半导体
杂质元素
研究起点
研究来源
研究分支
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电子与仪表
主办单位:
上海市电子仪表科技情报研究所
出版周期:
双月刊
ISSN:
CN:
31-1446/TN
开本:
出版地:
邮发代号:
创刊时间:
语种:
出版文献量(篇)
1004
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