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半导体硼柱形微靶电火花加工技术
惯性约束聚变
硼靶
微细加工
电火花铣削
采用ICP质谱法测定海绵钯中的杂质元素
海绵钯
电感耦合等离子体质谱法
内标元素
基体效应
相对标准偏差
一种半导体激光脉冲种子源的设计与实现
半导体
脉冲信号
信号整形
直接调制
杂质元素和微合金化元素对纯铝导体导电性能的影响
导体材料
工业纯铝
杂质元素
微合金化元素
导电性
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 用火花源质谱法分析半导体中杂质元素
来源期刊 电子与仪表 学科 化学
关键词 火花源质谱法 半导体 杂质元素
年,卷(期) 1991,(5) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 39-43
页数 5页 分类号 O649.3
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1991(0)
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研究主题发展历程
节点文献
火花源质谱法
半导体
杂质元素
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电子与仪表
双月刊
31-1446/TN
出版文献量(篇)
1004
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5
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