半导体制造装置的密封垫用橡胶材料

• 作者: 刘爱堂
• 来源期刊: 橡胶参考资料
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体制造 密封垫 橡胶弹性体 应用领域 其在 抽出物 自色 生产效率
• 年，卷（期）: 1991,（8）
• 页码范围: 35-35
• 页数: 1页
• 分类号: TQ33

摘要

杜邦·日本有限公司,最近已开发上市了一种新型的半导体制造装置的密封垫用橡胶材料—透明的卡尔莱兹。对杜邦公司的橡胶弹性体材料来说,现备有的品级是耐热性优良的卡尔莱兹4097(黑色)和耐等离子体性优良的卡尔莱兹2037(白色),最近通过增加透明的卡尔莱兹这一新的品级,从而使其在半导体制造装置的这一应用领域即可满足各种各样的需求。其产品的特点在于:(1)因不含有填