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氟化镁场镜光刻调制盘工艺
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文献信息
| 篇名 | 氟化镁场镜光刻调制盘工艺 | ||
| 来源期刊 | 技术通讯（南峰机械厂） | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 光刻 调制盘 氟化镁场镜 | ||
| 年，卷（期） | 1992,（1） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 11-13 | |
| 页数 | 3页 | 分类号 | TJ765.3 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
五维指标
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1992(0)
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研究主题发展历程
节点文献
光刻
调制盘
氟化镁场镜
研究起点
研究来源
研究分支
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
技术通讯（南峰机械厂）
主办单位：
吉林纸业股份有限公司科研所科技情报室
出版周期：
季刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
吉林国营南峰机械厂
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
132
总下载数（次）
1
总被引数（次）
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