层板喷注器光刻工艺技术研究

• 作者: 宁建华
• 来源期刊: 火箭推进
• 关键词: 液体火箭发动机 层板喷注器 光刻
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 19-22
• 页数: 4页
• 分类号: V4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-9374.2001.02.004

摘要

本文论述了为研制液体火箭发动机关键件-层板喷注器而采用的光刻工艺技术.本工艺技术是一种交叉性的边缘学科,是微电子领域的光刻技术与精密微机械加工技术相结合的典范,属超精加工.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宁建华	中国航天科技集团公司第十一研究所	3	10	2.0	3.0